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型號

質量流量計

質量流量控制器

流量范圍(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  響應時間

  <2 sec

  <2 sec

度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重復精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出信號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐壓

  <90bar

  0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作環境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范圍

  2 ~ 100%

  2~ 100%